中微公司披露业绩快报，实现营业收入227,329.19万元，较上年同期增长16.76%;归属于母公司所有者的净利润49,219.92万元，较上年同期增长161.02%；归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为2,331.94万元，较上年同期减少84.19%。于报告期末，公司总资产为580,087.69万元，较报告期初增加21.51%；归属于母公司的所有者权益436,893.42万元，较报告期初增加16.47%。
（1）2020年，公司营业收入为22.73亿元，同比增长16.76%，其中受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，公司2020年刻蚀设备收入为12.89亿元，同比增长约58.49%；由于市场原因，公司2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。
（2）公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3亿元而间接持有中芯国际集成电路制造有限公司（以下简称“中芯国际”）科创板股票，因中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动收益约2.62亿元。